1，真空：是指在給定空間內(nèi)壓力低于當(dāng)?shù)卮髿鈮毫Φ南”怏w狀態(tài)；
2，真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄，可以用負(fù)壓或絕對(duì)壓力表示，常用單位有:Torr、Pa、mbar；
3，極限真空：是指真空泵能達(dá)到的最大真空度，真空泵銘牌標(biāo)注極限真空；
4，有效真空：指客戶在生產(chǎn)過(guò)程中真正運(yùn)行的真空度，也稱運(yùn)行真空，選取真空泵時(shí)，有效真空應(yīng)比
極限真空低出兩個(gè)數(shù)量級(jí)；
5，抽氣速率：在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡(jiǎn)稱抽速，
抽速分為進(jìn)氣抽速和標(biāo)準(zhǔn)抽速，銘牌上標(biāo)注的是進(jìn)氣抽速，單位: m3/h,m3/min;
6，流導(dǎo)：表示真空管道通過(guò)氣體的能力，在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差，
單位為:(L/s)。
7，漏率：真空系統(tǒng)漏率是指在規(guī)定條件下，一種特定氣體通過(guò)漏孔的流量，單位:Pa·L/s。
